|
| Обозначение: |
ГОСТ 25196-82 |
|
| Статус: |
действующий |
|
| Название рус.: |
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования |
|
| Название англ.: |
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements |
|
| Дата актуализации текста: |
07.11.2012 |
|
| Дата актуализации описания: |
07.11.2012 |
|
| Дата введения в действие: |
01.07.1983 |
|
| Область и условия применения: |
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники |
|
| Расположен в: |
- ОКС Общероссийский классификатор стандартов
- 23 ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ *Измерение потока жидкости см. 17.120
- 23.160 Вакуумная технология *Включая вакуумные насосы
- КГС Классификатор государственных стандартов
- Э Электронная техника, радиоэлектроника и связь
- Э7 Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники
- Э71 Технологическое оборудование для изготовления изделий электронной и радиопромышленности
|
|
Понравилась статья? Поделиться с друзьями: