| Обозначение: | ГОСТ 25662-83 |
| Статус: | действующий |
| Название рус.: | Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний |
| Название англ.: | Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods |
| Дата актуализации текста: | 07.11.2012 |
| Дата актуализации описания: | 07.11.2012 |
| Дата введения в действие: | 01.01.1984 |
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций |
| Список изменений: | №0 от 01.07.2011 (рег. 21.12.2010) «Поправка к изменению» №1 от 01.10.1984 (рег. 29.04.1984) «Срок действия продлен» №2 от 01.01.1989 (рег. 03.11.1988) «Поправка» |
| Расположен в: |
|
