|
| Обозначение: |
ГОСТ 5.2105-73 |
|
| Статус: |
действующий |
|
| Название рус.: |
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции |
|
| Название англ.: |
Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products |
|
| Дата актуализации текста: |
07.11.2012 |
|
| Дата актуализации описания: |
07.11.2012 |
|
| Дата введения в действие: |
01.09.1973 |
|
| Область и условия применения: |
Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
|
| Расположен в: |
- ОКС Общероссийский классификатор стандартов
- 31 ЭЛЕКТРОНИКА
- 31.260 Оптоэлектроника. Лазерное оборудование *Включая фотоэлементы
- КГС Классификатор государственных стандартов
- Э Электронная техника, радиоэлектроника и связь
- Э7 Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники
- Э72 Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности
- ОКП
- 440000 ПРИБОРЫ И АППАРАТУРА ОПТИЧЕСКИЕ
- 443000 Приборы оптические общепромышленного, специального и научного применения
- 443500 Микроскопы световые, лупы
|
|
Понравилась статья? Поделиться с друзьями: