Обозначение: | ГОСТ Р 8.643-2008 |
Статус: | действующий |
Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 — 30 нм. Методика поверки |
Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers for extreme ultraviolet in region 10 — 30 nm. Verification procedure |
Дата актуализации текста: | 07.11.2012 |
Дата актуализации описания: | 07.11.2012 |
Дата введения в действие: | 01.02.2009 |
Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения — ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 — 30 нм, и устанавливает методику их поверки |
Расположен в: |
|